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SCRUBBER特气尾气处理系统

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生产设备特气废气处理:可燃性、毒性气体无害化的处理设备。分为燃烧式、加热分解式、湿式、触媒式等离子、分解式、吸着式等,沃飞提供最佳的废气处理系统。

尾气处理系统Scrubber


一.主要特点

1. 独立燃烧方式,完全燃烧之火焰涡流:可燃性毒性气体从低浓度至100%浓度均可用高温处理;

2. SiH4与NF3、NO2同时燃烧:SiH4与NF3、NO2可以同时于燃烧室中一起 燃烧;

3. 基本功能之安全设计:异常情况发生时,诊断机能会自动安全处理;

4. 使用刮刀方式,粉尘处理容易:燃烧室内部之附着粉尘,可使用独立之刮刀容易且确实地清除;

5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各种型式:燃料气体可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 种型式;

6. 保养简单:保养可在极短的时间内完成,费用也低廉;

7. 高信赖性:构造简单且零件数少,值得高度信赖。

二.处理气体种类

可处理气体种类包括半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

三.处理原理

1. 冷却空气之一部份在燃烧室内形成火焰涡流,制程气体会完全卷入燃烧;

2. Guardian之火焰涡流可将SiH4等气体,破坏其气泡产生;

3. 冷却空气在机台内部循环,燃烧室外部使用空气冷却。并可使排气温度冷却下降,而且可将燃烧后之氧化物排出等多样功能;

4. 热电对之安全装置,可监视燃烧室温度、排气温度、Process Gas导入管温度。另外Photo sensor可监视熄火,差压计可检视排气风量。



深圳沃飞科技有限公司是一家专业从事气体应用系统工程:电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、大宗气体(液体)系统、高纯气体及特种工艺气体二次配管系统、化学品输送系统、纯水系统提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测、维护保养等全套工程技术服务和配套产品于一体的高新技术企业;


工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案;逐步成为行业领先的整体系统供应商。


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